本系统主要由以下部分组成:
1.四组分配气混合装置
2.计算机与操作软件
3.便携式湿度发生装置(选配,配好的标气经过该外设装置)
该多组分动态配气系统运用目前国际上*先进的测量和控制技术,设备稳定可靠,配制精度高。全自动化控制,操作简单可靠。设备集成在一个机箱内。外观简洁,美观。主要设备包括:质量流量控制器,单向阀,截止阀,气体混合管路等。
该多组分动态配气系统配置4路质量流量控制器,可实现2—4个组份气体混合配比。
系统数据库内有多达四五十种气体,使用时通过计算机直接调取选择。
混合气体*大流量:≈ 20 L/min。
配气通道:4路
多组份动态配气系统主要设备清单
1. 气体质量流量控制器(美国原装进口)
Model:F-201CV Fluid:Air Range:0.4…20Ln/min
Model:F-201CV Fluid:H2 Range:0.2…10 Ln/min
Model:F-201CV Fluid:N2 Range:0.1…5Ln/min
Model:F-201CV Fluid:N2 Range:0.1…5Ln/min
**度:±0.5%RD+0.1%FS
密封:Viton(耐高温氟素橡胶)
响应时间:1…2seconds
重复性:< ±0.2% Rd
量程比:1:50(数字模式为:1:187.5)
泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar l/s He
电源:+15…24VDC@320mA
使用温度:-10…70 ℃
压力灵敏度:0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2
温度灵敏度:Zero:<0.05% Rd /℃; Span:<0.05%Rd/℃
输出:4…20mA and RS-232
2. 气路
整个多组分动态配气系统气路均采用防腐防吸附的316L不锈钢管或者聚四氟乙烯管,内表面光滑
3. 转子流量计
方便使用,配制出来多余的气体可以通过调节转子流量计直接排出.
4.计算机及系统软件
1)多组分动态配气系统通过触摸屏或者计算机操作,计算机需要另选配气软件。
2)四组分配气软件
多组分动态配气系统根据要求,可以设置钢瓶和对应的端口。并可以通过流量模式和浓度模式配气。通过软件自动计算,气体质量流量控制器自动调节控制气体流量,以实现气体配比浓度要求。
5.便携式湿度发生装置(选配)
该装置采用国际*新的加湿技术,管壳式的水分交换器,可以使水气在液态水和气体中传输。水分被管壁吸收后以蒸汽的形式传输到气体中。传输过程是由管壁两边水气分压差驱动。可以调节不同的湿度输出,同时实时显示湿度值。耐腐蚀,仅加湿,不改变气体成分,湿度范围:0-98%RH,较大流量:10 L/min, 气体压力:<20 psig